真空炉 |
基 |
設 備 型 式 |
容 量 |
型 名 |
室 数 |
制御圧力 |
冷却方法 |
1 |
1000型 |
横型3室 |
133Pa~0.07Mpa |
Ar/N2 |
1200W×1800L×800H |
1000kg |
1 |
800型 |
横型3室 |
13Pa~0.074Mpa |
Ar/N2 |
920W×1370L×800H |
800Kg |
1 |
500型 |
横型2室 |
54Pa~133Pa |
Ar/N2 |
900W×1350L×600H |
500Kg |
1 |
750型 |
横型3室 |
13Pa~200Pa |
油 |
600W×1230L×600H |
500Kg |
1 |
200型 |
横型3室 |
54Pa~133Pa |
Ar/N2 |
600W×900L×400H |
200Kg |
1 |
90型 |
縦型2室 |
54Pa~133Pa |
Ar/N2 |
φ450×450H |
90Kg |
焼戻炉 |
1 |
2000型 |
横型1室 |
0.065Mpa~0.101PA |
H2/N2 |
1200W×1800L×1000H |
2000Kg |
1 |
1000型 |
横型1室 |
0.065Mpa~0.101PA |
H2/N2 |
1200W×1800L×1000H |
1000kg |
2 |
100型 |
横型1室 |
0.065Mpa~0.101PA |
H2/N2 |
400W×600L×350L |
100Kg |
他加工設備 |
イオン窒化装置 |
13Pa~200Pa |
N2/H2/他 |
φ700×1000H |
300Kg |
サブゼロ装置 |
|
N2 |
500W×500L×500H |
100kg |
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